Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions

This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.

Αποθηκεύτηκε σε:
Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: Rossnagel, Stephen M., Cuomo, Jenome J., Westwood, William D.
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Noyes Publications 2011
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172
Ετικέτες: Προσθήκη ετικέτας
Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt
Περιγραφή
Περίληψη:This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.