Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions
This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.
Spremljeno u:
| Glavni autori: | , , |
|---|---|
| Format: | Knjiga |
| Jezik: | English |
| Izdano: |
Noyes Publications
2011
|
| Teme: | |
| Online pristup: | https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172 |
| Oznake: |
Dodaj oznaku
Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
| Sažetak: | This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies. |
|---|