Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions
This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.
Zapisane w:
| Główni autorzy: | , , |
|---|---|
| Format: | Książka |
| Język: | English |
| Wydane: |
Noyes Publications
2011
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
| Streszczenie: | This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies. |
|---|