Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions
This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.
Sparad:
| Huvudupphovsmän: | , , |
|---|---|
| Materialtyp: | Bok |
| Språk: | English |
| Publicerad: |
Noyes Publications
2011
|
| Ämnen: | |
| Länkar: | https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172 |
| Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
| Sammanfattning: | This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies. |
|---|