Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions

This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.

Spremljeno u:
Bibliografski detalji
Glavni autori: Rossnagel, Stephen M., Cuomo, Jenome J., Westwood, William D.
Format: Knjiga
Jezik:English
Izdano: Noyes Publications 2011
Teme:
Online pristup:https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172
Oznake: Dodaj oznaku
Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt