Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions

This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.

Sparad:
Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsmän: Rossnagel, Stephen M., Cuomo, Jenome J., Westwood, William D.
Materialtyp: Bok
Språk:English
Publicerad: Noyes Publications 2011
Ämnen:
Länkar:https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172
Taggar: Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt