Tribology in chemical mechanical planarization
Illustrating their intersecting role in manufacturing and technological development, this book examines tribological principles and their applications in CMP, including integrated circuits, basic concepts in surfaces of contacts, and common defects as well as friction, lubrication fundamentals, and...
Wedi'i Gadw mewn:
| Prif Awdur: | Liang, Hong |
|---|---|
| Fformat: | Llyfr |
| Iaith: | Undetermined |
| Cyhoeddwyd: |
London
Taylor and Francis
2004
|
| Pynciau: | |
| Tagiau: |
Ychwanegu Tag
Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!
|
| Thư viện lưu trữ: | Trung tâm Học liệu Trường Đại học Cần Thơ |
|---|
Eitemau Tebyg
-
Gia công tinh bề mặt chi tiết máy :
gan: Trần, Văn Địch
Cyhoeddwyd: (2004) -
Gia công tinh bề mặt chi tiết máy
gan: Trần, Văn Địch
Cyhoeddwyd: (2004) -
Kỹ thuật mài kim loại
gan: Lưu Văn Nhang
Cyhoeddwyd: (2003) -
Các phương pháp gia công tinh :
gan: Trần Văn Địch
Cyhoeddwyd: (2006) -
Engineering tribology
gan: Williams, John
Cyhoeddwyd: (2000)