Tribology in chemical mechanical planarization

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Tribology in chemical mechanical planarization

Illustrating their intersecting role in manufacturing and technological development, this book examines tribological principles and their applications in CMP, including integrated circuits, basic concepts in surfaces of contacts, and common defects as well as friction, lubrication fundamentals, and...

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ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक:	Liang, Hong
स्वरूप:	पुस्तक
भाषा:	Undetermined
प्रकाशित:	London Taylor and Francis 2004
विषय:	Tribology,Grinding and polishing
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Thư viện lưu trữ:	Trung tâm Học liệu Trường Đại học Cần Thơ

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