Tribology in chemical mechanical planarization
Illustrating their intersecting role in manufacturing and technological development, this book examines tribological principles and their applications in CMP, including integrated circuits, basic concepts in surfaces of contacts, and common defects as well as friction, lubrication fundamentals, and...
Đã lưu trong:
| 主要作者: | Liang, Hong |
|---|---|
| 格式: | 图书 |
| 语言: | Undetermined |
| 出版: |
London
Taylor and Francis
2004
|
| 主题: | |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|
| Thư viện lưu trữ: | Trung tâm Học liệu Trường Đại học Cần Thơ |
|---|
相似书籍
-
Gia công tinh bề mặt chi tiết máy :
由: Trần, Văn Địch
出版: (2004) -
Gia công tinh bề mặt chi tiết máy
由: Trần, Văn Địch
出版: (2004) -
Kỹ thuật mài kim loại
由: Lưu Văn Nhang
出版: (2003) -
Các phương pháp gia công tinh :
由: Trần Văn Địch
出版: (2006) -
Engineering tribology
由: Williams, John
出版: (2000)