Development of parametric material, energy, emission inventories for wafer fabrication in the semiconductor industry /

Uloženo v:

Podrobná bibliografie
Další autoři:	Allen, David T., Dyer, David E., Kenig, George A., Laurent, Jean-Philippe., Murphy, Cynthia F.
Médium:	Článek
Jazyk:	English
Témata:	Electronics industry Emissions inventory Energy consumption Microelectronic fabrication Pollutant emission Raw materials Semiconductor materials
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!

Thư viện lưu trữ:	Thư viện Trường Đại học Đà Lạt


LEADER	01155nam a2200361 4500
001	DLU090094213
005	##20091201
040	#	#	\|a DLU \|b eng
041	#	#	\|a eng
044	#	#	\|a us
245	#	#	\|a Development of parametric material, energy, emission inventories for wafer fabrication in the semiconductor industry / \|c Cynthia F. Murphy ... [et al.].
653	#	#	\|a Electronics industry
653	#	#	\|a Emissions inventory
653	#	#	\|a Energy consumption
653	#	#	\|a Microelectronic fabrication
653	#	#	\|a Pollutant emission
653	#	#	\|a Raw materials
653	#	#	\|a Semiconductor materials
700	#	#	\|a Allen, David T.
700	#	#	\|a Dyer, David E.
700	#	#	\|a Kenig, George A.
700	#	#	\|a Laurent, Jean-Philippe.
700	#	#	\|a Murphy, Cynthia F.
773	#	#	\|t Environmental Science & Technology \|g Vol. 37, no. 23 (December 2003), p. 5373-5382
920	#	#	\|a Phòng Tạp chí -- Trung tâm Thông tin - Thư viện Trường Đại học Đà Lạt
994	#	#	\|a DLU
900	#	#	\|a True
911	#	#	\|a Trương Bảo Trâm Anh
925	#	#	\|a G
926	#	#	\|a A
927	#	#	\|a BB
980	#	#	\|a Thư viện Trường Đại học Đà Lạt

Podobné jednotky