Development of parametric material, energy, emission inventories for wafer fabrication in the semiconductor industry /

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Tác giả khác: Allen, David T., Dyer, David E., Kenig, George A., Laurent, Jean-Philippe., Murphy, Cynthia F.
Định dạng: Bài viết
Ngôn ngữ:English
Những chủ đề:
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt
LEADER 01155nam a2200361 4500
001 DLU090094213
005 ##20091201
040 # # |a DLU  |b eng 
041 # # |a eng 
044 # # |a us 
245 # # |a Development of parametric material, energy, emission inventories for wafer fabrication in the semiconductor industry /  |c Cynthia F. Murphy ... [et al.]. 
653 # # |a Electronics industry 
653 # # |a Emissions inventory 
653 # # |a Energy consumption 
653 # # |a Microelectronic fabrication 
653 # # |a Pollutant emission 
653 # # |a Raw materials 
653 # # |a Semiconductor materials 
700 # # |a Allen, David T. 
700 # # |a Dyer, David E. 
700 # # |a Kenig, George A. 
700 # # |a Laurent, Jean-Philippe. 
700 # # |a Murphy, Cynthia F. 
773 # # |t Environmental Science & Technology  |g Vol. 37, no. 23 (December 2003), p. 5373-5382  
920 # # |a Phòng Tạp chí -- Trung tâm Thông tin - Thư viện Trường Đại học Đà Lạt 
994 # # |a DLU 
900 # # |a True 
911 # # |a Trương Bảo Trâm Anh 
925 # # |a G 
926 # # |a A 
927 # # |a BB 
980 # # |a Thư viện Trường Đại học Đà Lạt