Deposition of Ru and RuO2 thin films employing dicarbonyl bis-diketonate ruthenium complexes as CVD source reagents /

Wedi'i Gadw mewn:
Manylion Llyfryddiaeth
Awduron Eraill: Carty, Arthur J., Chen, Yao-Lun., Chi, Yun., Lai, Ying-Hui., Lee, Gene-Hsiang., Liu, Chao-Shiuan., Peng, Shie-Ming.
Fformat: Erthygl
Iaith:English
Pynciau:
Tagiau: Ychwanegu Tag
Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt