Deposition of Ru and RuO2 thin films employing dicarbonyl bis-diketonate ruthenium complexes as CVD source reagents /

Deposition of Ru and RuO2 thin films employing dicarbonyl bis-diketonate ruthenium complexes as CVD source reagents /

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
Kolejni autorzy: Carty, Arthur J., Chen, Yao-Lun., Chi, Yun., Lai, Ying-Hui., Lee, Gene-Hsiang., Liu, Chao-Shiuan., Peng, Shie-Ming.
Format: Artykuł
Język:English
Hasła przedmiotowe:
Electrical conductivity
Inorganic compounds
Microstructure
Transition element compounds
Transition elements
Volatility
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt
Opis
Nie ma specyfikacji.

Podobne zapisy