Deposition of Ru and RuO2 thin films employing dicarbonyl bis-diketonate ruthenium complexes as CVD source reagents /

Gorde:
Xehetasun bibliografikoak
Beste egile batzuk: Carty, Arthur J., Chen, Yao-Lun., Chi, Yun., Lai, Ying-Hui., Lee, Gene-Hsiang., Liu, Chao-Shiuan., Peng, Shie-Ming.
Formatua: Artikulua
Hizkuntza:English
Gaiak:
Etiketak: Etiketa erantsi
Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt