Deposition of Ru and RuO2 thin films employing dicarbonyl bis-diketonate ruthenium complexes as CVD source reagents /

Deposition of Ru and RuO2 thin films employing dicarbonyl bis-diketonate ruthenium complexes as CVD source reagents /

Tallennettuna:
Bibliografiset tiedot
Muut tekijät: Carty, Arthur J., Chen, Yao-Lun., Chi, Yun., Lai, Ying-Hui., Lee, Gene-Hsiang., Liu, Chao-Shiuan., Peng, Shie-Ming.
Aineistotyyppi: Artikkeli
Kieli:English
Aiheet:
Electrical conductivity
Inorganic compounds
Microstructure
Transition element compounds
Transition elements
Volatility
Tagit: Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt
Kuvaus
Kuvausta ei saatavissa.

Samankaltaisia teoksia