Deposition of Ru and RuO2 thin films employing dicarbonyl bis-diketonate ruthenium complexes as CVD source reagents /

Đã lưu trong:
書目詳細資料
其他作者: Carty, Arthur J., Chen, Yao-Lun., Chi, Yun., Lai, Ying-Hui., Lee, Gene-Hsiang., Liu, Chao-Shiuan., Peng, Shie-Ming.
格式: Bài viết
語言:English
主題:
標簽: 添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt
LEADER 01143nam a2200373 4500
001 DLU090095589
005 ##20091201
040 # # |a DLU  |b eng 
041 # # |a eng 
044 # # |a us 
245 # # |a Deposition of Ru and RuO2 thin films employing dicarbonyl bis-diketonate ruthenium complexes as CVD source reagents /  |c Ying-Hui Lai ... [et al.]. 
653 # # |a Electrical conductivity 
653 # # |a Inorganic compounds 
653 # # |a Microstructure 
653 # # |a Transition element compounds 
653 # # |a Transition elements 
653 # # |a Volatility 
700 # # |a Carty, Arthur J. 
700 # # |a Chen, Yao-Lun. 
700 # # |a Chi, Yun. 
700 # # |a Lai, Ying-Hui. 
700 # # |a Lee, Gene-Hsiang.  
700 # # |a Liu, Chao-Shiuan. 
700 # # |a Peng, Shie-Ming. 
773 # # |t Journal of Materials Chemistry  |g Vol. 13, no. 8 (2003), p. 1999-2006 
920 # # |a Phòng Tạp chí -- Trung tâm Thông tin - Thư viện Trường Đại học Đà Lạt 
994 # # |a DLU 
900 # # |a True 
911 # # |a Trương Bảo Trâm Anh 
925 # # |a G 
926 # # |a A 
927 # # |a BB 
980 # # |a Thư viện Trường Đại học Đà Lạt