Deposition of Ru and RuO2 thin films employing dicarbonyl bis-diketonate ruthenium complexes as CVD source reagents /

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Detalles Bibliográficos
Otros Autores: Carty, Arthur J., Chen, Yao-Lun., Chi, Yun., Lai, Ying-Hui., Lee, Gene-Hsiang., Liu, Chao-Shiuan., Peng, Shie-Ming.
Formato: Artículo
Lenguaje:English
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Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt

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