Nanoimprint lithography materials development for semiconductor device fabrication /

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Costner, Elizabeth A., Jen, Wei-Lun., Lin, Michael W., Willson, C. Grant.
Format:	Artikel
Sprache:	English
Schlagworte:	Dual damascene Imprint template Nanofabrication Next-generation lithography
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Thư viện lưu trữ:	Thư viện Trường Đại học Đà Lạt

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