Nanoimprint lithography materials development for semiconductor device fabrication /
Đã lưu trong:
| Tác giả khác: | , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Bài viết |
| Ngôn ngữ: | English |
| Những chủ đề: | |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
| LEADER | 00953nam a2200313 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | DLU090097895 | ||
| 005 | ##20091201 | ||
| 040 | # | # | |a DLU |b eng |
| 041 | # | # | |a eng |
| 044 | # | # | |a us |
| 245 | # | # | |a Nanoimprint lithography materials development for semiconductor device fabrication / |c Elizabeth A. Costner ... [et al.]. |
| 653 | # | # | |a Dual damascene |
| 653 | # | # | |a Imprint template |
| 653 | # | # | |a Nanofabrication |
| 653 | # | # | |a Next-generation lithography |
| 700 | # | # | |a Costner, Elizabeth A. |
| 700 | # | # | |a Jen, Wei-Lun. |
| 700 | # | # | |a Lin, Michael W. |
| 700 | # | # | |a Willson, C. Grant. |
| 773 | # | # | |t Annual Review of Materials Research |g Vol. 39 (2009), p. 155-180 |
| 920 | # | # | |a Phòng Tạp chí -- Trung tâm Thông tin - Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
| 994 | # | # | |a DLU |
| 900 | # | # | |a True |
| 911 | # | # | |a Trương Bảo Trâm Anh |
| 925 | # | # | |a G |
| 926 | # | # | |a A |
| 927 | # | # | |a BB |
| 980 | # | # | |a Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |