Nanoimprint lithography materials development for semiconductor device fabrication /

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Detalles Bibliográficos
Otros Autores:	Costner, Elizabeth A., Jen, Wei-Lun., Lin, Michael W., Willson, C. Grant.
Formato:	Artículo
Lenguaje:	English
Materias:	Dual damascene Imprint template Nanofabrication Next-generation lithography
Etiquetas:	Agregar Etiqueta Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!

Thư viện lưu trữ:	Thư viện Trường Đại học Đà Lạt

Descripción
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