Nanoimprint lithography materials development for semiconductor device fabrication /

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون:	Costner, Elizabeth A., Jen, Wei-Lun., Lin, Michael W., Willson, C. Grant.
التنسيق:	مقال
اللغة:	English
الموضوعات:	Dual damascene Imprint template Nanofabrication Next-generation lithography
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

Thư viện lưu trữ:	Thư viện Trường Đại học Đà Lạt

مواد مشابهة