The science and engineering of microelectronic fabrication
This new edition includes a chapter on microelectromechanical structures (MEMS), an exciting new area in microfabrication. The coverage of MEMS includes fundamentals of mechanics; stress in thin films; mechanical to electrical transduction; mechanics of common MEMS devices; bulk micromachining etchi...
Đã lưu trong:
Tác giả chính: | Stephen A. Campbell |
---|---|
Ngôn ngữ: | Undetermined English |
Được phát hành: |
New York
Oxford University Press
2001
|
Những chủ đề: | |
Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
Thư viện lưu trữ: | Trung tâm Học liệu Trường Đại học Trà Vinh |
---|
Những quyển sách tương tự
-
The science and engineering of microelectronic fabrication
Bỡi: Stephen A. Campbell
Được phát hành: (2001) -
The science and engineering of microelectronic fabrication
Bỡi: Stephen A. Campbell
Được phát hành: (2001) -
Microelectronics :
Bỡi: Neamen, Donald A.
Được phát hành: (2010) -
Fundamentals of semiconductor fabrication /
Bỡi: May, Gary S.
Được phát hành: (2004) -
Microelectronics :
Bỡi: Neamen, Donald A
Được phát hành: (2007)