The science and engineering of microelectronic fabrication

This new edition includes a chapter on microelectromechanical structures (MEMS), an exciting new area in microfabrication. The coverage of MEMS includes fundamentals of mechanics; stress in thin films; mechanical to electrical transduction; mechanics of common MEMS devices; bulk micromachining etchi...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Stephen A. Campbell
Ngôn ngữ:Undetermined
English
Được phát hành: New York Oxford University Press 2001
Những chủ đề:
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
Thư viện lưu trữ: Trung tâm Học liệu Trường Đại học Trà Vinh

Những quyển sách tương tự