Fabrication and characterization of silicon probe tip for vertical probe card using MEMS technology /

Αποθηκεύτηκε σε:

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας:	Kim, Young-Min.
Άλλοι συγγραφείς:	Lee, Jong-Hyun., Yu, In-Sik.
Μορφή:	Άρθρο
Γλώσσα:	English
Θέματα:	Annealing process Deep-RIE Porous silicon micromachining Probe tip Thermal expansion
Ετικέτες:	Προσθήκη ετικέτας Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!

Thư viện lưu trữ:	Thư viện Trường Đại học Đà Lạt

Notice: fwrite(): write of 695 bytes failed with errno=28 No space left on device in C:\vufind\module\VuFind\src\VuFind\Session\File.php on line 152
Cannot write session to C:\Windows\TEMP\vufind_sessions/sess_ud8f64vl4goq4eqb5b3o2sjjsc
Warning: session_write_close(): Failed to write session data using user defined save handler. (session.save_path: \xampp\tmp) in C:\vufind\vendor\laminas\laminas-session\src\SessionManager.php on line 235

Fabrication and characterization of silicon probe tip for vertical probe card using MEMS technology /

Παρόμοια τεκμήρια