Fabrication and characterization of silicon probe tip for vertical probe card using MEMS technology /

Guardat en:

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Kim, Young-Min.
Altres autors:	Lee, Jong-Hyun., Yu, In-Sik.
Format:	Article
Idioma:	English
Matèries:	Annealing process Deep-RIE Porous silicon micromachining Probe tip Thermal expansion
Etiquetes:	Afegir etiqueta Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!

Thư viện lưu trữ:	Thư viện Trường Đại học Đà Lạt

Sigues el primer a deixar un comentari!

Ítems similars