Fabrication and characterization of silicon probe tip for vertical probe card using MEMS technology /

Đã lưu trong:

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính:	Kim, Young-Min.
Tác giả khác:	Lee, Jong-Hyun., Yu, In-Sik.
Định dạng:	Bài viết
Ngôn ngữ:	English
Những chủ đề:	Annealing process Deep-RIE Porous silicon micromachining Probe tip Thermal expansion
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!

Thư viện lưu trữ:	Thư viện Trường Đại học Đà Lạt


LEADER	00965nam a2200313 4500
001	DLU090078964
005	##20090619
040	#	#	\|a DLU \|b eng
041	#	#	\|a eng
044	#	#	\|a KR
100	#	#	\|a Kim, Young-Min.
245	#	#	\|a Fabrication and characterization of silicon probe tip for vertical probe card using MEMS technology / \|c Young-Min Kim, In-Sik Yu, Jong-Hyun Lee.
653	#	#	\|a Annealing process
653	#	#	\|a Deep-RIE
653	#	#	\|a Porous silicon micromachining
653	#	#	\|a Probe tip
653	#	#	\|a Thermal expansion
700	#	#	\|a Lee, Jong-Hyun.
700	#	#	\|a Yu, In-Sik.
773	#	#	\|t Electrophysics and Applications \|g Vol. 4-C, no. 4 (2004), p. 149-154
920	#	#	\|a Phòng Tạp chí -- Trung tâm Thông tin - Thư viện Trường Đại học Đà Lạt
994	#	#	\|a DLU
900	#	#	\|a True
911	#	#	\|a Trương Bảo Trâm Anh
925	#	#	\|a G
926	#	#	\|a A
927	#	#	\|a BB
980	#	#	\|a Thư viện Trường Đại học Đà Lạt

Những quyển sách tương tự