|
|
|
|
| LEADER |
00965nam a2200313 4500 |
| 001 |
DLU090078964 |
| 005 |
##20090619 |
| 040 |
# |
# |
|a DLU
|b eng
|
| 041 |
# |
# |
|a eng
|
| 044 |
# |
# |
|a KR
|
| 100 |
# |
# |
|a Kim, Young-Min.
|
| 245 |
# |
# |
|a Fabrication and characterization of silicon probe tip for vertical probe card using MEMS technology /
|c Young-Min Kim, In-Sik Yu, Jong-Hyun Lee.
|
| 653 |
# |
# |
|a Annealing process
|
| 653 |
# |
# |
|a Deep-RIE
|
| 653 |
# |
# |
|a Porous silicon micromachining
|
| 653 |
# |
# |
|a Probe tip
|
| 653 |
# |
# |
|a Thermal expansion
|
| 700 |
# |
# |
|a Lee, Jong-Hyun.
|
| 700 |
# |
# |
|a Yu, In-Sik.
|
| 773 |
# |
# |
|t Electrophysics and Applications
|g Vol. 4-C, no. 4 (2004), p. 149-154
|
| 920 |
# |
# |
|a Phòng Tạp chí -- Trung tâm Thông tin - Thư viện Trường Đại học Đà Lạt
|
| 994 |
# |
# |
|a DLU
|
| 900 |
# |
# |
|a True
|
| 911 |
# |
# |
|a Trương Bảo Trâm Anh
|
| 925 |
# |
# |
|a G
|
| 926 |
# |
# |
|a A
|
| 927 |
# |
# |
|a BB
|
| 980 |
# |
# |
|a Thư viện Trường Đại học Đà Lạt
|