Fabrication and characterization of silicon probe tip for vertical probe card using MEMS technology /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Kim, Young-Min.
Otros Autores:	Lee, Jong-Hyun., Yu, In-Sik.
Formato:	Artículo
Lenguaje:	English
Materias:	Annealing process Deep-RIE Porous silicon micromachining Probe tip Thermal expansion
Etiquetas:	Agregar Etiqueta Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!

Thư viện lưu trữ:	Thư viện Trường Đại học Đà Lạt

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