Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Vũ, Ngọc Hùng
Médium: Kniha
Jazyk:Undetermined
Vydáno: H. Bách khoa Hà Nội 2016
Témata:
On-line přístup:http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
Thư viện lưu trữ: Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một
Popis
Shrnutí:Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói
Fyzický popis:255tr.