Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Vũ, Ngọc Hùng
Format:	Buch
Sprache:	Undetermined
Veröffentlicht:	H. Bách khoa Hà Nội 2016
Schlagworte:	Công nghệ điện tử; Cơ điện tử > Vi hệ thống
Online Zugang:	http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738
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Thư viện lưu trữ:	Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một

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