Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói...

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Auteur principal:	Vũ, Ngọc Hùng
Format:	Livre
Langue:	Undetermined
Publié:	H. Bách khoa Hà Nội 2016
Sujets:	Công nghệ điện tử; Cơ điện tử > Vi hệ thống
Accès en ligne:	http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738
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Thư viện lưu trữ:	Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một

Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử /

par Vũ Ngọc Hùng
Publié 2016

Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường CĐ Kỹ Thuật Cao Thắng

Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

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