Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Vũ, Ngọc Hùng
Médium: Kniha
Jazyk:Undetermined
Vydáno: H. Bách khoa Hà Nội 2016
Témata:
On-line přístup:http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
Thư viện lưu trữ: Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một
LEADER 00990nam a2200205Ia 4500
001 TDMU_27738
008 210410s9999 xx 000 0 und d
082 |a 543 
090 |b V500 
100 |a Vũ, Ngọc Hùng 
245 0 |a Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử 
245 0 |c Vũ Ngọc Hùng 
260 |a H. 
260 |b Bách khoa Hà Nội 
260 |c 2016 
300 |a 255tr. 
520 |a Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói 
650 |a Công nghệ điện tử; Cơ điện tử  |x Vi hệ thống 
856 |u http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738 
980 |a Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một