Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Vũ, Ngọc Hùng
Định dạng: Sách
Ngôn ngữ:Undetermined
Được phát hành: H. Bách khoa Hà Nội 2016
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
Thư viện lưu trữ: Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một
LEADER 00990nam a2200205Ia 4500
001 TDMU_27738
008 210410s9999 xx 000 0 und d
082 |a 543 
090 |b V500 
100 |a Vũ, Ngọc Hùng 
245 0 |a Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử 
245 0 |c Vũ Ngọc Hùng 
260 |a H. 
260 |b Bách khoa Hà Nội 
260 |c 2016 
300 |a 255tr. 
520 |a Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói 
650 |a Công nghệ điện tử; Cơ điện tử  |x Vi hệ thống 
856 |u http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738 
980 |a Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một