Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử
Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Undetermined |
| Published: |
H.
Bách khoa Hà Nội
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Institutions: | Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một |
|---|