The science and engineering of microelectronic fabrication
Advanced processing topics such as rapid thermal processing, next generation lithography, molecular beam epitaxy, and metal organic chemical vapor deposition are also presented. The physics and chemistry of each process is introduced along with descriptions of the equipment used for the manufacture...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Язык: | Undetermined English |
| Опубликовано: |
New York
Oxford University Press
2001
|
| Предметы: | |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Thư viện lưu trữ: | Trung tâm Học liệu Trường Đại học Trà Vinh |
|---|
Search Result 1
по Stephen A. Campbell
Опубликовано 2001
Опубликовано 2001
Thư viện lưu trữ:
Trung tâm Học liệu Trường Đại học Trà Vinh
Search Result 2
по Stephen A. Campbell
Опубликовано 2001
Опубликовано 2001
Thư viện lưu trữ:
Trung tâm Học liệu Trường Đại học Trà Vinh