The science and engineering of microelectronic fabrication
Advanced processing topics such as rapid thermal processing, next generation lithography, molecular beam epitaxy, and metal organic chemical vapor deposition are also presented. The physics and chemistry of each process is introduced along with descriptions of the equipment used for the manufacture...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| اللغة: | Undetermined English |
| منشور في: |
New York
Oxford University Press
2001
|
| الموضوعات: | |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| Thư viện lưu trữ: | Trung tâm Học liệu Trường Đại học Trà Vinh |
|---|
Search Result 1
بواسطة Stephen A. Campbell
منشور في 2001
منشور في 2001
Thư viện lưu trữ:
Trung tâm Học liệu Trường Đại học Trà Vinh
Search Result 2
بواسطة Stephen A. Campbell
منشور في 2001
منشور في 2001
Thư viện lưu trữ:
Trung tâm Học liệu Trường Đại học Trà Vinh