Chemical vapor deposition of tantalum carbide and carbonitride thin films from Me3CETa(CH2CMe3)3(E= CH, N) /
Enregistré dans:
| Autres auteurs: | , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Langue: | English |
| Sujets: | |
| Tags: |
Ajouter un tag
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
Soyez le premier à ajouter un commentaire!