Chemical vapor deposition of tantalum carbide and carbonitride thin films from Me3CETa(CH2CMe3)3(E= CH, N) /

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Altri autori: Chang, Pei-Ju., Chang, Yu-Hsu., Chiu, Hsin-Tien., Wu, Jin-Bao.
Natura: Articolo
Lingua:English
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Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt