Remote hydrogen-nitrogen plasma chemical vapor deposition from a tetramethyldisilazane source. Part 1. Mechanism of the process, structure and surface morphology of deposited amorphous hydrogenated silicon carbonitride films /
Kaydedildi:
| Diğer Yazarlar: | , , , , , , |
|---|---|
| Materyal Türü: | Makale |
| Dil: | English |
| Konular: | |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|