Remote hydrogen-nitrogen plasma chemical vapor deposition from a tetramethyldisilazane source. Part 1. Mechanism of the process, structure and surface morphology of deposited amorphous hydrogenated silicon carbonitride films /
保存先:
| その他の著者: | , , , , , , |
|---|---|
| フォーマット: | 論文 |
| 言語: | English |
| 主題: | |
| タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
| 記述は利用できません。 |