Remote hydrogen-nitrogen plasma chemical vapor deposition from a tetramethyldisilazane source. Part 1. Mechanism of the process, structure and surface morphology of deposited amorphous hydrogenated silicon carbonitride films /

Bewaard in:
Bibliografische gegevens
Andere auteurs: Aoki, T., Baszczyk, I., Hatanaka, Y., Klemberg-Sapieha, J. E., Tracz, A., Walkiewicz-Pietrzykowska, A., Wrobel, A. M.
Formaat: Artikel
Taal:English
Onderwerpen:
Tags: Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt